Panasonic Corp. разработала высокоточный трехмерный профилометр с новым зондом. Это устройство может измерять профиль поверхности, включая поры диаметром 50 мкм на плоской площадке 100 х 100 мм, а также вертикальные поверхности с точностью ±0,15 мкм. Скорость измерений составляет 2 мм/с.

Трехмерный профилометр адаптирован для измерений высокоточных компонентов, используемых, например, в мобильных телефонах или автомобилях. В сравнении с традиционными контактными профилометрами, которые достигают точности измерения всего в несколько микрон, это устройство может точно измерять профиль поверхности компонентов, а также внутренние и наружные стенки металлических форм на субмикронном уровне. Это позволит создавать продукты меньших размеров и поможет повысить эффективность производства и сократить время.

При исследовании объекта зонд использует бесконечно малое контактное усилие величиной 0,3 мН, что эквивалентно приземлению комара, без повреждения поверхности. Именно за счет постоянного и устойчивого контакта с объектом при таком малом нажатии и достигается точность ±0,15 мкм. Это стало возможным благодаря оптическому сервоконтролю, который следит за взаимным положением зонда и объекта исследования.

Аппарат также использует технологию расчета колебаний для борьбы с вибрацией, оценивающую несущую конструкцию устройства и вибрационные эффекты от колебаний как своих собственных, так и дополнительного оборудования. И несмотря на уменьшенную вдвое опорную поверхность удалось улучшить антивибрационные характеристики. Кроме того, в профилометр внедрена возможность безотрывного контроля и вертикальных, и горизонтальные поверхностей без дополнительного позиционирования объекта.

Компания начнет принимать заказы на трехмерный профилометр с октября 2009 года.