Компания Hitachi разработала метод манипуляции с микрочипами,
имеющими размеры 75 x 75 x 7,5 микрон, что сопоставимо с крупицей
пудры. Новая технология предусматривает использование специальной
жидкости с помещенными в нее чипами, откуда они могут быть извлечены по
одному с помощью микропипетки. Разработчики позаимствовали эту идею из
области биотехнологиии и медицины, где подобным образом обрабатываются
единичные клетки биологических тканей.
Согласно данным, приведенным Hitachi, разработанный метод
позволяет извлекать по одному из тысяч чипов, помещенных в 1 мл
жидкости. Гидрофильная природа микросхем была увеличена за счет
добавления в раствор поверхностно-активных веществ, препятствующих
образованию сгустков или образованию осадка. Кроме того, для улучшения
распределения чипов решение предусматривает постоянное принудительное
перемешивание жидкости. До настоящего времени для манипуляций с микросхемами подобных
размеров обычно применялась другая последовательность операций. Сначала
сформированные на подложке чипы прижимались к клейкой поверхности,
обеспечивающей отделение их от подложки. Затем микросхемы по одной
отделялись от поверхности иглой эжектора и всасывались вакуумным
пинцетом. Однако при обработке таким образом чипов размерами 100 микрон
и менее они подвергались значительному механическому воздействию от
иглы эжектора, а процесс в целом требовал соблюдения очень высокой
точности совмещения. Кроме того, дальнейшие манипуляции с единичными
чипами в сухой среде затруднены из-за проявлений электростатических и
межмолекулярных сил – отметила Hitachi.
|